究小组，主要负责曝光系统中极紫外光源。

曝光系统分为可见光、紫外光、深紫外光以及极紫外光四种，这些光线的波长从400nm降到了10nm左右，波长的缩短，使得可曝光的特征尺寸变小，相应的，便代表光刻刀的刀锋更锋利，光刻的精度也就更高。

目前国际社会中的一流水平是极紫外光曝光系统，花粉集团旗下海斯实验室目前正在研究的就是极紫外光曝光系统。

极紫外光的波长在10nm左右，而它的上一代产品深紫外光，波长还在200nm左右，直接降低了一个量级，可见这一项技术跨越的鸿沟有多么宽。

周诚在海斯实验室内听了几天、也看了几天，将海斯实验室内的流程以及各种设备都摸了一遍，然后便打算回京城去了。